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真空泵的振動和噪聲

2018-10-18 01:38:13?????點擊:303
       近年來,隨著真空技術應用領域的不斷擴大,各種真空泵獲得設備增長亦非常迅速。為滿足真空應用發展的需要,特別是老產品不斷更新,新產品不斷出現,真空獲得設備的發展正在進入一個新的時代。其特點是:降低真空泵的振動和噪聲,提高長期運行的可靠性,處理大量可凝性和揮發性氣體,降低能耗和運行成本,消除廢液處理和對環境的污染;要求耐腐蝕,耐粉塵以及獲得清潔、無油的真空環境等。
       根據上述要求迫使真空獲得設備制造廠家不斷改進老產品的特性。如滑閥泵具有抽速大、性能穩定、經久耐用等特點,但它的運動部件的慣性力和慣性力矩所產生的振動一直引起人們的注意;羅茨泵在清潔或腐蝕性工藝中的應用,在半導體、平板顯示、薄膜太陽能電池以及其他工況條件非??量痰幕?、制藥等行業,大都采用羅茨真空泵與干式真空泵組成的真空機組。一方面可以減少干泵尺寸,提高機組在中真空范圍的抽速,另外極限真空也能提高一個數量級。根據羅茨泵的抽氣機理,從原則上來說應該是無油的,但是羅茨泵的轉子必須由軸承來支撐和精密的同步齒輪來傳動,這些軸承和齒輪均需要潤滑系統。
       當真空系統抽除腐蝕性氣體或蒸汽時,潤滑油亦會受到侵蝕。螺桿真空泵由于具有清潔無油、抽速大、振動小、噪聲低等優點,已成為當前大型空間模擬真空系統的首選產品。另外,為了提高真空機組的抽速和極限真空并相應的減小螺桿泵的尺寸,一般都是采用一臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的二級機組或二臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的三級機組。
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